Trifluorure d'azote (NF3) Gaz de haute pureté
Informations de base
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Quel est ce matériau ?
Le trifluorure d'azote (NF3) est un gaz incolore et inodore à température ambiante et pression atmosphérique. Il peut être liquéfié sous pression modérée. Le NF3 est stable dans des conditions normales et ne se décompose pas facilement. Cependant, il peut se décomposer lorsqu’il est exposé à des températures élevées ou en présence de certains catalyseurs. Le NF3 a un potentiel de réchauffement global (PRG) élevé lorsqu’il est rejeté dans l’atmosphère.
Où utiliser ce matériel ?
Agent de nettoyage dans l'industrie électronique : le NF3 est largement utilisé comme agent de nettoyage pour éliminer les contaminants résiduels, tels que les oxydes, des surfaces des semi-conducteurs, des écrans plasma (PDP) et d'autres composants électroniques. Il permet de nettoyer efficacement ces surfaces sans les endommager.
Gaz de gravure dans la fabrication des semi-conducteurs : le NF3 est utilisé comme gaz de gravure dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il est particulièrement efficace pour graver le dioxyde de silicium (SiO2) et le nitrure de silicium (Si3N4), qui sont des matériaux couramment utilisés dans la fabrication de circuits intégrés.
Production de composés fluorés de haute pureté : NF3 est une source précieuse de fluor pour la production de divers composés contenant du fluor. Il est utilisé comme précurseur dans la production de polymères fluorés, de fluorocarbones et de produits chimiques spécialisés.
Génération de plasma dans la fabrication d'écrans plats : le NF3 est utilisé avec d'autres gaz pour créer du plasma dans la production d'écrans plats, tels que les écrans à cristaux liquides (LCD) et les PDP. Le plasma est essentiel dans les processus de dépôt et de gravure lors de la fabrication des panneaux.
Notez que les applications et réglementations spécifiques pour l’utilisation de ce matériau/produit peuvent varier selon le pays, l’industrie et l’objectif. Suivez toujours les consignes de sécurité et consultez un expert avant d'utiliser ce matériau/produit dans quelque application que ce soit.
